湿法清洗机具有以下先进技术：
1.系统集成技术
2.自动精确配液、传输及精准控制技术
3.材料与化学药液工程防护技术
4.结构系统模块化控制技术
5.晶片自动传输及自动清洗控制技术
6.工艺槽流体均匀性控制技术
7.产品、人员安全防护控制技术

主要技术特点：
控制方式：采用进口高性能PLC和触摸屏或工控机实现集中控制，结合单元功能增加快捷按钮控制简化操作
槽体配置：材料：NPP、PVDF、一体成型PTFE、 进口石英、PVC、316L不锈钢等多种材料
槽体功能：恒温控制（加热/制冷）、循环过滤、自动配液/补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、三级清洗、快排、鼓泡、干燥等
定制设计：根据用户要求提供工艺配置及工艺技术支持